Translation: from english
- From english to:
- Russian
ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ
-
1 ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ
Β Π€ΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΒ Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΠ². Π―Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ, Π·Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ: Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π», Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ; Π΅Π³ΠΎ ΡΡΡΠΊΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅; ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π£Π€ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠΎΡΠΎΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ (ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎ, ΠΊΠ²Π°ΡΡ ΠΈ Π΄Ρ.) Ρ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΊΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ; ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ (Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ) ΡΠΊΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Ρ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ (ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅) ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ (Π½Π΅Π³Π°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅) ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° ΡΠ»ΠΎΡ Π²ΡΠΌΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎ-ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π³ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π°; ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ (Π΄ΡΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅) ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ) Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ; ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡ ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ; ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΡΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΉ. ΠΡΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎ Π½Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±ΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠΈΠΌ.ΠΠ½Π³Π»ΠΎ-ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌ > ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ
-
2 ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ
ΠΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π°Π½Π³Π»ΠΎ-ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΠΎ-Π°Π½Π³Π»ΠΈΠΉΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ > ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ
-
3 photolithographic processing
ΠΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π°Π½Π³Π»ΠΎ-ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΠΎ-Π°Π½Π³Π»ΠΈΠΉΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ > photolithographic processing
-
4 photolithographic [photoresist] processing
ΠΠ½Π³Π»ΠΎ-ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ² > photolithographic [photoresist] processing
-
5 photolithography
ΠΠ½Π³Π»ΠΎ-ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ > photolithography
-
6 photolithography
ΠΠ½Π³Π»ΠΎ ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ > photolithography
-
7 photolithography
-
8 optical lithography
English-Russian electronics dictionary > optical lithography
-
9 photodefinition
-
10 photomasking technology
English-Russian electronics dictionary > photomasking technology
-
11 optical lithography
The New English-Russian Dictionary of Radio-electronics > optical lithography
-
12 photodefinition
The New English-Russian Dictionary of Radio-electronics > photodefinition
-
13 photolithography
English-Russian dictionary of mechanical engineering and automation > photolithography
-
14 lithophotography
ΠΠ½Π³Π»ΠΎ-ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π°ΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΎΠΌΡ Π΄Π΅Π»Ρ > lithophotography
-
15 photolithographic masking
English-Russian household appliances > photolithographic masking
-
16 photolithography
-
17 photomasking
-
18 photolithographic masking
English-Russian dictionary on household appliances > photolithographic masking
-
19 photolithography
English-Russian dictionary on household appliances > photolithography
-
20 photomasking
English-Russian dictionary on household appliances > photomasking
Look at other dictionaries:
ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ β ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ β¦ ΠΡΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ-ΡΠΏΡΠ°Π²ΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ
Π€ΠΠ’ΠΠΠΠ’ΠΠΠ ΠΠ€ΠΠ― β ΠΡΠΎΠ±ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΌΠΊΠ° Π½Π° Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ. Π‘Π»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ², Π²ΠΎΡΠ΅Π΄ΡΠΈΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΡΡΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ·ΡΠΊΠ°. Π§ΡΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΠ² Π.Π., 1910. Π€ΠΠ’ΠΠΠΠ’ΠΠΠ ΠΠ€ΠΠ― Π²ΠΎΡΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΌΠ½Π΅ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΊΠ° ΡΡΠΎΠ³ΠΎ… β¦ Π‘Π»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ² ΡΡΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ·ΡΠΊΠ°
ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ β ΠΈ, ΠΆ. photolithographie f. ΠΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΌΠ½Ρ. ΠΠΠ‘ 1. ΠΠ²Π° ΡΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΡΠΈΠΌ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΄ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ (Ρ. Π΅. Ρ… β¦ ΠΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ² ΡΡΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ·ΡΠΊΠ°
Π€ΠΠ’ΠΠΠΠ’ΠΠΠ ΠΠ€ΠΠ― β (ΠΎΡ ΡΠΎΡΠΎ... ΠΈ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ) ..1) ΡΠΎΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΌΠ½Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅2)] ΠΡΡΠΈΡΠΊ Ρ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ β¦ ΠΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΠ½ΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠΏΠ΅Π΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ
Π€ΠΠ’ΠΠΠΠ’ΠΠΠ ΠΠ€ΠΠ― β Π€ΠΠ’ΠΠΠΠ’ΠΠΠ ΠΠ€ΠΠ―, ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΆΠ΅Π½. (ΡΠΈΠΏ.). ΠΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΡΠΌ. ΡΠΎΡΠΎβ¦ Π² 1 Π·Π½Π°Ρ. Π’ΠΎΠ»ΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π£ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²Π°. Π.Π. Π£ΡΠ°ΠΊΠΎΠ². 1935 1940 β¦ Π’ΠΎΠ»ΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π£ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²Π°
Π€ΠΠ’ΠΠΠΠ’ΠΠΠ ΠΠ€ΠΠ― β ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΡΠ°Π·Π». ΡΠΈΠΏΠ° Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡ. ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π€. ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡ. ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π΅ (ΠΊΠ°ΠΌΠ½Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡ. ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅) Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ΄ΡΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ… β¦ Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ½ΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠΏΠ΅Π΄ΠΈΡ
ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ{ β} β Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ (Π΄Π»Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ° Π½Π° Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ) ΠΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ². ΠΠ·Π΄Π°ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎ Β«ΠΠΠΠΒ», 2007 β¦ Π‘Π»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ² ΡΡΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ·ΡΠΊΠ°
ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ β ΡΡΡ., ΠΊΠΎΠ» Π²ΠΎ ΡΠΈΠ½ΠΎΠ½ΠΈΠΌΠΎΠ²: 2 β’ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ (11) β’ ΠΎΡΡΠΈΡΠΊ (25) Π‘Π»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠ½ΠΎΠ½ΠΈΠΌΠΎΠ² ASIS. Π.Π. Π’ΡΠΈΡΠΈΠ½. 2013 β¦ Π‘Π»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠ½ΠΎΠ½ΠΈΠΌΠΎΠ²
ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ β ΠΈ; ΠΆ. 1. ΠΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ, ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π½Π΅Π³Π°ΡΠΈΠ²Π° Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π½Π° Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΠΊΡ, ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ. 2. ΠΡΡΠΈΡΠΊ Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ,… β¦ ΠΠ½ΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠΏΠ΅Π΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ
Π€ΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ β ΠΠΈΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π€ΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ° Π½Π° ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ Π² ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· β¦ ΠΠΈΠΊΠΈΠΏΠ΅Π΄ΠΈΡ
ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ β Β Photolithography Β Π€ΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Β Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΎΠ². Π―Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ,… β¦ Π’ΠΎΠ»ΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ Π°Π½Π³Π»ΠΎ-ΡΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. - Π.